針對LCD、OLED等新型平板顯示量產(chǎn)中所涉及的PI配向膜、光刻膠薄膜、ITO薄膜、有機(jī)發(fā)光薄膜、有機(jī)/無機(jī)封裝薄膜等質(zhì)量控制需要，專門設(shè)計的在線薄膜測量系統(tǒng)?？蛇m用于空氣、N2、真空等環(huán)境條件，自動實現(xiàn)玻璃基板上各種膜系結(jié)構(gòu)厚度分布。
特點
■無破壞及高速的檢測
■膜厚測量:能準(zhǔn)確的確定半導(dǎo)體制造工藝中的各種薄膜參數(shù)和細(xì)微變化,包括復(fù)雜多層薄膜結(jié)構(gòu)
■OCD測量:可以進(jìn)行顯影后檢查(ADI)刻蝕后檢查(AEI)等多種工藝段的二維或三維樣品的線寬、側(cè)壁角度(SWA).高度/深度等關(guān)鍵尺寸(CD)特征或整體形貌測量。可測量二維多品硅批極刻蝕(PO)隔離槽(STI)隔離層(Spacer)雙重曝光(Double Patterning)或三維連接孔(VIA)、鰭式場效應(yīng)晶體管（FinFET),閃存(NAND)等多種樣品。
■使用自主開發(fā)的最新一代穆勒矩陣式膜厚&OCD 測量頭,考慮被測對象的各向異性,提供測量的靈敏度
■支持 SECS/GEM 產(chǎn)線互聯(lián)標(biāo)準(zhǔn)